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問答題

【論述題】根據(jù)原理分類，干法刻蝕分成幾種？各有什么特點？

答案：干法刻蝕是采用等離子體進行刻蝕的技術，根據(jù)原理分為濺射與離子銑（物理）、等離子刻蝕（化學）、反應離子刻蝕（物理+化學）。...

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【論述題】簡述BOE（或BHF）刻蝕SiO₂的原理。

答案：二氧化硅腐蝕最常見的濕法腐蝕工藝之一是在稀釋的HF溶劑中進行的SiO₂濕法腐蝕法。常用腐蝕液配比是...

【論述題】射頻放電與直流放電相比有何優(yōu)點？

答案：直流放電中，電荷在表面的積聚會使電場減小，直到等離子體消失。在射頻電場中，因為電場周期性地改變方向，帶電粒子不容易到達電...

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