問答題

【論述題】分別簡述RVD和GILD的原理,它們的優(yōu)缺點及應用方向。

答案: 快速氣相摻雜(RVD,RapidVapor-phaseDoping)利用快速熱處理過程(RTP)將處在摻雜劑氣氛中的硅片...
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