單項(xiàng)選擇題恒定表面源擴(kuò)散的雜質(zhì)分布在數(shù)學(xué)上稱為什么分布?()

A.高斯函數(shù)
B.余誤差函數(shù)
C.指數(shù)函數(shù)
D.線性函數(shù)


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1.單項(xiàng)選擇題從離子源引出的是:()

A、原子束
B、分子束
C、中子束
D、離子束

3.單項(xiàng)選擇題離子注入層的深度主要取決于離子注入的()。

A.能量
B.劑量

4.多項(xiàng)選擇題硅外延片的應(yīng)用包括()。

A.二極管和三極管
B.電力電子器件
C.大規(guī)模集成電路
D.超大規(guī)模集成電路

5.多項(xiàng)選擇題硅外延生長工藝包括()。

A.襯底制備
B.原位HCl腐蝕
C.生長溫度,生長壓力,生長速度
D.尾氣的處理