多項(xiàng)選擇題

硅外延生長(zhǎng)工藝包括()。

A.襯底制備
B.原位HCl腐蝕
C.生長(zhǎng)溫度,生長(zhǎng)壓力,生長(zhǎng)速度
D.尾氣的處理

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