A.掩膜版 B.擴(kuò)散 C.光刻
A.化學(xué)刻蝕機(jī)理 B.物理刻蝕機(jī)理 C.物理的濺射刻蝕和化學(xué)的反應(yīng)刻蝕相結(jié)合
A.高斯 B.余誤差 C.指數(shù)