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填空題
離子注入雜質(zhì)濃度分布中最重要的二個射程參數(shù)是()和()。
答案:
平均投影射程;平均投影標(biāo)準(zhǔn)差
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填空題
外延層的遷移率低的因素有原材料純度();反應(yīng)室漏氣;外延層的晶體();系統(tǒng)沾污等;載氣純度不夠;外延層晶體缺陷多;生長工藝條件不適宜。
答案:
不夠;質(zhì)量差
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填空題
微波混合集成電路是指工作頻率從300MHz~100kMHz的混合集成電路,可分為分布參數(shù)微波混合集成電路和()微波混合集成電路兩類。
答案:
集總參數(shù)
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