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【簡(jiǎn)答題】解釋離子束擴(kuò)展和空間電荷中和。
答案:
由于電荷之間的相互排斥,所以一束僅包括正電荷的離子束本身是不穩(wěn)定的,容易造成離子束的膨脹即離子束的直徑在行進(jìn)過(guò)程中不斷的...
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【簡(jiǎn)答題】離子源的目的是什么?最常用的離子源是什么?
答案:
目的:使待注入的物質(zhì)以帶電粒子束的形式存在
最常用的源:Freeman離子源和Bernas離子源
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【簡(jiǎn)答題】例舉離子注入設(shè)備的5個(gè)主要子系統(tǒng)。
答案:
(1)離子源:待注入物質(zhì)必須以帶電粒子束或離子束的形式存在。注入離子在離子源中產(chǎn)生
(2)引出電極(吸極)和離...
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