問答題

答案：光刻的目的是將電路圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋于硅片表面的光刻膠上，而刻蝕的目的是在硅片上無光刻膠保護(hù)的地方留下永久的圖形。即將圖形轉(zhuǎn)...

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答案：

推進(jìn)，激活雜質(zhì)，修復(fù)損傷。

答案：

氧化層保護(hù)表面免污染，免注入損傷，控制注入溫度。