問答題

【簡(jiǎn)答題】將圓柱形的單晶硅錠制備成硅片需要哪些工藝流程?

答案:

整形處理,切片,磨片和倒角,刻蝕,拋光,清洗,硅片評(píng)估,包裝。

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第二步:通過化學(xué)反應(yīng)將冶金級(jí)硅提純以生成三氯硅烷
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