填空題

常用的超聲變幅桿有（）、（）及（）三種形式。

答案：圓錐形；指數(shù)形；階梯形

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激光加工設(shè)備主要包括電源、（）、（）、（）、（）、冷卻系統(tǒng)等部分。

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實(shí)現(xiàn)超精密加工的技術(shù)支撐條件主要包括：（）、（）、（）、（）、高質(zhì)量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。

答案：超精密加工機(jī)理與工藝方法；超精密加工機(jī)床設(shè)備；超精密加工工具；精密測量和誤差補(bǔ)償

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