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填空題實現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是（），對刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃無缺陷、與工件材料的抗粘接性好，摩擦系數(shù)低。

1.填空題超聲波加工主要是利用（）作用來去除材料的，同時產(chǎn)生的液壓沖擊和空化現(xiàn)象也加速了蝕除效果，故適于加工（）材料。

2.填空題目前金剛石刀具主要用于（）材料的精密與超精密車削加工，而對于（）材料的精密與超精密加工，則主要應(yīng)用精密和超精密磨料加工。

3.填空題電火花加工蝕除金屬材料的微觀物理過程可分為（）、（）、（）和（）四個階段。

4.填空題金剛石晶體的激光定向原理是利用金剛石在不同結(jié)晶方向上（）進行的。

5.填空題精密和超精密加工機床主軸軸承的常用形式有（）和（）。