通過在物體表面移動(dòng)一種敏銳的探針來研究表面特征的顯微鏡(如掃描隧道顯微鏡)。
這種電子顯微鏡用電子束掃描樣品表面,收集從表面發(fā)出的二次電子形成樣品的表面圖像。
能辨析兩點(diǎn)之間最小距離的能力,距離越小,分辨率越高。