問答題

【簡(jiǎn)答題】真空泵入口二次門有哪些聯(lián)鎖?

答案:

1)真空泵運(yùn)行中跳閘,該門自關(guān);
2)真空泵啟動(dòng)后,該門前后壓差至規(guī)定值時(shí)自開。

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【簡(jiǎn)答題】真空泵入口二次門是什么形式的?

答案:

氣控薄膜閥。

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答案:

判斷真空泵是否工作正常;也可以判斷真空泵入口氣控閥是否嚴(yán)密。

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