1)真空泵運(yùn)行中跳閘,該門自關(guān); 2)真空泵啟動(dòng)后,該門前后壓差至規(guī)定值時(shí)自開。
氣控薄膜閥。
判斷真空泵是否工作正常;也可以判斷真空泵入口氣控閥是否嚴(yán)密。