問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】真空泵入口二次門(mén)有哪些聯(lián)鎖？

答案：

1）真空泵運(yùn)行中跳閘，該門(mén)自關(guān)；
2）真空泵啟動(dòng)后，該門(mén)前后壓差至規(guī)定值時(shí)自開(kāi)。
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答案：

氣控薄膜閥。
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答案：

判斷真空泵是否工作正常；也可以判斷真空泵入口氣控閥是否嚴(yán)密。
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