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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述電遷移現(xiàn)象及解決方法。
答案:
當(dāng)金屬線流過(guò)大密度的電流時(shí),電子和金屬原子的碰撞引起金屬原子的移動(dòng)導(dǎo)致金屬原子的消耗和堆積。電遷移現(xiàn)象會(huì)造成金屬線開路、...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述鋁互連的優(yōu)缺點(diǎn)。
答案:
優(yōu)點(diǎn):①電阻率低;
②鋁的成本低;
③與硅和二氧化硅的粘附性好;
④易于沉積成膜(蒸發(fā)、濺...
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