填空題

超聲沖擊磨蝕采用機(jī)械能量，超聲復(fù)合加工有：（）、（）、（）以及（）。

答案：超聲珩磨；超聲砂帶磨削；超聲金剛石砂輪磨削；超聲切削

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常用的超聲變幅桿有（）、（）、（）及（）等形式。

答案：指數(shù)型；雙曲線型；錐形；階梯型

離子束曝光，即用在大規(guī)模集成電路制作中，與電子束相比有更高的靈敏度和分辨率。

答案：正確