問答題簡述原位自生法基本原理
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氣相生長的基本原理:氣相原子或分子運動到晶體表面,在一定的條件下被晶體吸收,形成穩(wěn)定的()。俘獲吸附原子,臺階運動蔓延整個表面,便生長一層晶體薄膜。
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題型:多項選擇題