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問答題
【簡答題】簡述物理氣相沉積原理及其應(yīng)用。
答案：
（1） 原理：利用某種物理過程，如物質(zhì)的熱蒸發(fā)或在受到粒子轟擊時物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象，實現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)...
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