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填空題離子束加工的物理基礎(chǔ)是離子束投射到工件表面時所產(chǎn)生的（）、（）和（）。

1.填空題離子束加工裝置與電子束加工裝置類似，不同的是用（）取代了（）。

2.填空題電子束加工的裝置主要包括（）和（）、（）等。

3.填空題激光加工的加工過程包括（）、（）和（）等3個階段。

4.填空題電解加工工具電極的結(jié)構(gòu)主要有（）、（）、（）等幾種。

5.填空題按照加工方式的不同，電火花加工的電極可分為（）、（）、（）等。