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硅熱氧化形成SiO
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體積將增加約1倍。
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作為擴散掩蔽膜需要滿足一定的厚度要求。
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中5價的網(wǎng)絡形成者可使結(jié)構(gòu)強度增加,而3價的網(wǎng)絡形成者可使結(jié)構(gòu)強度減小。
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