電子探針的能譜儀和波譜儀比較，波譜儀（）。

每種晶體物質都有自己特定的晶體結構，晶體結構不同則X射線衍射花樣也就各不相同。

拉曼光譜分析時，1500cm-1以上的譜帶必定是一個基團的頻率，解釋通常是可靠的，一般可以確信其推論。

在電子探針面分析中，根據(jù)圖像上亮點的疏密和分布，可確定該元素在試樣中分布情況，亮區(qū)代表元素含量（）。

1887年，Hertz建立了XPS技術的理論模型。