電子束與固體樣品作用時，會產(chǎn)生背散射電子。背反射電子的產(chǎn)額隨樣品（）的增加而增多。

在電子探針中，測定X射線特征能量的譜儀為能量分散譜儀，簡寫為（）。

電子探針的能譜儀和波譜儀比較，波譜儀（）。

當?shù)挂浊蚺c反射球相交，交線是一個圓環(huán)，環(huán)上每一點都滿足衍射條件，可以產(chǎn)生衍射。

1887年，Hertz建立了XPS技術(shù)的理論模型。