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A.同步信號(hào)異常
B.陽極啟動(dòng)異常
C.燈絲增溫異常
D.電源波動(dòng)范圍超過規(guī)定值
E.曝光過程中手閘提前釋放

A.0.02～0.06nm
B.0.04～0.06nm
C.0.06～0.09nm
D.0.09～0.12nm
E.0.12～0.15nm