下列超精密機(jī)床主軸部件中，受溫升影響主軸精度最大的軸承是（）。

下列電火花加工用脈沖電源中，哪個(gè)電源穩(wěn)定性最好（）。

磨料噴射加工

超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由哪幾個(gè)功能單元組成？

噴油嘴、微型軸承、儀表齒輪、手表整體機(jī)芯、印刷電路板、集成電路微電子器件等的清洗，常采用什么方法可獲得好的效果？