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填空題電火花加工型腔工具電極常用的材料有：（）、（）、（）等。

1.填空題實現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是（），對刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃無缺陷、與工件材料的抗粘接性好，摩擦系數(shù)低。

2.填空題超聲波加工主要是利用（）作用來去除材料的，同時產(chǎn)生的液壓沖擊和空化現(xiàn)象也加速了蝕除的效果，故適于加工（）材料。