下列超精密機(jī)床主軸部件中，受溫升影響主軸精度最大的軸承是（）。

電解研磨

電解加工時(shí)，采用下列哪種電解液時(shí)需加過濾凈化措施（）。

金剛石晶體面網(wǎng)間距分布不均勻的是（）晶面。

超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由哪幾個(gè)功能單元組成？

多齒分度盤的齒數(shù)為1440，則其分度增量是（）。

下列電火花加工用脈沖電源中，哪個(gè)電源穩(wěn)定性最好（）。

磨料噴射加工

下列哪種電火花加工電源主要用于沖模類穿孔加工等精加工場合（）。

納米級表面物理力學(xué)性能檢測的內(nèi)容是什么？