多項(xiàng)選擇題

蒸鍍制膜主要包括的物理階段有（）

A.淀積材料蒸發(fā)或升華為氣態(tài)
B.原子從蒸發(fā)源輸運(yùn)到基片
C.蒸氣粒子在基片上沉積
D.粒子在基片表面重排凝結(jié)成膜

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